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              千級光學鍍膜室

              鍍膜是用物理或化學的方法在材料表面鍍上一層透明的電解質膜,或鍍一層金屬膜,目的是改變材料表面的反射和透射特性。

              在可見光和紅外線波段范圍內,大多數金屬的反射率都可達到78%~98%,但不可高于98%。無論是對于CO2激光,采用銅、鉬、硅、鍺等來制作反射鏡,采用鍺、砷化鎵、硒化鋅作為輸出窗口和透射光學元件材料,還是對于YAG激光采用普通光學玻璃作為反射鏡、輸出鏡和透射光學元件材料,都不能達到全反射鏡的99%以上要求。不同應用時輸出鏡有不同透過率的要求,因此必須采用光學鍍膜方法。

              對于CO2激光燈中紅外線波段,常用的鍍膜材料有氟化 釔、氟化鐠、鍺等;對于YAG激光燈近紅外波段或可見光波段,常用的鍍膜材料有硫化鋅、氟化鎂、二氧化鈦等。除了高反膜、增透膜之外,還可以鍍對某波長增反射、對另一波長增透射的特殊膜,如激光倍頻技術中的分光膜等。

              一、原理:

              光的干涉在薄膜光學中廣泛應用。光學薄膜技術的普遍方法是借助真空濺射的方式在玻璃基板上涂鍍薄膜,一般用來控制基板對入射光束的反射率和透過率,以滿足不同的需要。為了消除光學零件表面的反射損失,提高成像質量,涂鍍一層或多層透明介質膜,稱為增透膜或減反射膜。隨著激光技術的發(fā)展,對膜層的反射率和透過率有不同的要求,促進了多層高反射膜和寬帶增透膜的發(fā)展。為各種應用需要,利用高反射膜制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉濾光片等。 

                光學零件表面鍍膜后,光在膜層層上多次反射和透射,形成多光束干涉,控制膜層的折射率和厚度,可以得到不同的強度分布,這是干涉鍍膜的基本原理。

              二、材料:

              1、氟化鎂

              材料特點:無色四方晶系粉末,純度高,用其制備光學鍍膜可提高透過率,不出崩點。

              2、二氧化硅

              材料特點:無色透明晶體,熔點高,硬度大,化學穩(wěn)定性好。純度高,用其制備高質量Si02鍍膜,蒸發(fā)狀態(tài)好,不出現崩點。按使用要求分為紫外、紅外及可見光用。

              3、氧化鋯

              材料特點 白色重質結晶態(tài),具有高的折射率和耐高溫性能,化學性質穩(wěn)定,純度高,用其制備高質量氧化鋯鍍膜,不出崩點。 

               

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